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Wafer Plasma dicing 晶圆切割检测设备
Wafer Plasma dicing 出货检测设备是一个集成了光、机、电、自动化等技术的精密机器视觉识别系统。
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Wafer Plasma dicing 晶圆切割检测设备
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Introduction
产品介绍

Wafer Plasma dicing 出货检测设备是一个集成了光、机、电、自动化等技术的精密机器视觉识别系统。基于半导体工业生产的特殊性,该产品采用了高度集成的光学成像系统、最新数据分析AI算法和模块化的整机系统结构,自研软件能够检测晶圆缺陷(如未刻透、脏污、大划痕、黑点等),识别晶粒数量及生成map图,查询跑料数据等,并支持在线和离线的自动光学检测。

Features
产品特性
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